Nano BC-18 刮涂設(shè)備(Blade coating)是針對(duì)有機(jī)電子學(xué)領(lǐng)域(包括有機(jī)/鈣鈦礦太陽能電池、有機(jī)場效應(yīng)晶體管、有機(jī)發(fā)光二極管等)，光學(xué)薄膜(增亮膜、hardcoat、偏光膜、擴(kuò)散膜等)制造等，而設(shè)計(jì)開發(fā)的一款具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的大面積專業(yè)制膜設(shè)備。

　　相比市面上傳統(tǒng)應(yīng)用于油墨/漿料等材料的涂布設(shè)備，該款設(shè)備可以從多個(gè)維度對(duì)薄膜沉積進(jìn)行調(diào)控，因此適用于制備厚度從幾納米到微米級(jí)的薄膜。同時(shí)配備完整且精密的控制系統(tǒng)以及原位監(jiān)控系統(tǒng)，操作便捷且人性化，工藝摸索簡易可傳承，可多方位幫助用戶得到理想的較佳膜厚。

　　產(chǎn)品參數(shù)

　　較大基片尺寸： 210*210mm

　　基臺(tái)平整度： <2um

　　運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)： 氣浮導(dǎo)軌結(jié)合直線伺服

　　刮刀： 有效較大外寬MAX220mm

　　刮刀平整度： 2um

　　涂布刀頭(風(fēng)刀刮刀一體式)升降分辨率：0.001mm

　　涂布刀頭(風(fēng)刀刮刀一體式)升降速度： 0.01mm/s-15mm/s

　　涂布刀頭(風(fēng)刀刮刀一體式)移動(dòng)分辨率：0.001mm

　　涂布刀頭(風(fēng)刀刮刀一體式)移動(dòng)速度： 1mm/s-100mm/s

　　涂布刀頭(風(fēng)刀刮刀一體式)與平臺(tái)平行度 ：<5um

　　涂布行走速度均勻性： 小于0.5%(50mm/s)

　　人機(jī)交互系統(tǒng)： 外置PC控制系統(tǒng)

　　閃蒸系統(tǒng)： 標(biāo)配閃蒸系統(tǒng)，風(fēng)刀系統(tǒng)可選

　　尺寸： 800mm(W)*700mm(D)*700mm(H

　　工藝驗(yàn)證

　　·2英寸超薄有機(jī)Dif-TES-ADT膜

　　·平均厚度4.62 nm

　　·表面覆蓋率100%

　　·表面粗糙度1.5 nm

　　·條件：刮涂速度1 mm/s，刮刀角度30°，溫度60℃

　　蘇州大學(xué)：Nanoscale Horiz. 2020, DOI: 10.1039/d0nh00096e