該設(shè)備是一種新型工業(yè)級潔凈干燥設(shè)備，采用獨(dú)特的內(nèi)外艙分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計，通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進(jìn)行自凈化過濾，從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用晶圓片的硬烤、軟烤，LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室、航天航空等眾多工業(yè)領(lǐng)域的預(yù)熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應(yīng)力等工藝 。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　與熱風(fēng)接觸部分皆使用SUS304鏡面不銹鋼，明亮如鏡無刮痕

　　搭載易開易關(guān)無機(jī)械摩擦的電磁式門扣，避免常規(guī)門扣易摩 擦產(chǎn)生PARTICLE的缺點(diǎn)

　　具HEPA FILTER全系列Class100烘烤環(huán)境之實(shí)現(xiàn)

　　較佳的溫度均勻性表現(xiàn)(1—4號±1%，5號以上±1.5%)

　　溫度可達(dá)MAX350℃(T2機(jī)型)

　　含氧量可低至20PPM以下(WITH N2 PURGE)

　　特殊門后板設(shè)計，絕無加熱后變形，造成熱風(fēng)外泄現(xiàn)象

　　注: 1.可選擇T1(Max.250℃)，或是T2(Max.350℃)機(jī)型。

　　2.接受不同尺寸規(guī)格之機(jī)型定制

　　選配: 1.LCD顯示全功能整合式控制器(具RS-485通信功能)

　　2.WUPA FILTER選用,潔凈度可提升

　　3.水冷或是間接(或直接)氣冷式降溫系統(tǒng)，可加速降溫速度

　　4.PC控制，單或多臺烤箱連線溫度監(jiān)測記錄系統(tǒng)

　　5.六點(diǎn)式溫度記錄器

　　6.含氧量檢知顯示器