本手動(dòng)勻膠烤膠/顯定影機(jī)一體機(jī)主要功能:包括基片勻膠/顯影、烤膠/定影、排風(fēng)、黃光照明等功能，該設(shè)備一體化集成，可以對(duì) 8 英寸圓片(兼容 6 英寸圓片)基片加工，具備高轉(zhuǎn)速、高穩(wěn)定性、良好的溫度均勻性和精度控制等性能。

　　技術(shù)特點(diǎn)

　　本設(shè)備控制系統(tǒng)主要由 PLC 、觸摸屏構(gòu)成，運(yùn)行故障率低，可靠性高，操作簡(jiǎn)單， 易于維護(hù);勻膠/顯定影主軸使用伺服電機(jī)，數(shù)字顯示及設(shè)定，精確控制轉(zhuǎn)速，勻膠/顯影及烤膠具備自動(dòng)頂升裝置，烘烤可以根據(jù)需求自由設(shè)定高度。

　　技術(shù)參數(shù)

　　作業(yè)模式：基片放置、搬運(yùn)、取出為手動(dòng)方式,勻膠及烘烤顯影啟動(dòng)為手動(dòng)啟動(dòng)自動(dòng)運(yùn)行

　　加工基片：8 英寸圓形基片(兼容 6 英寸圓形基片)

　　涂膠程序及儲(chǔ)存： 可設(shè)置 10組、 每組 50 步驟程序;程序可保存、調(diào)用、修改、刪除

　　每步長(zhǎng)最小時(shí)間： 0.1s

　　操作面板： 觸屏操作+按鍵

　　電機(jī)： 松下 A6 系列高速伺服電機(jī)及驅(qū)動(dòng)器

　　轉(zhuǎn)速范圍： 20 -5000rpm

　　加速度范圍： 250 -20000rpm/s

　　轉(zhuǎn)速精度： ≤±1rpm (50~5000rpm)

　　轉(zhuǎn)速分辨率： 1rpm

　　機(jī)身外殼材質(zhì)： 不銹鋼/鏡面/PP材質(zhì)可選

　　勻膠腔/顯定影腔材質(zhì)： PP 材質(zhì)

　　顯影臂： 3路管路(1 路正膠顯影、1 路負(fù)膠顯影、1 路 NMP)，配備扇形和柱狀噴嘴，流量可調(diào)(調(diào)整液體壓力)，噴嘴無(wú)氮?dú)饧訅?供液方式：18L壓力罐*3，帶 液位檢測(cè);壓力罐放置液柜內(nèi);

　　定影臂： 3路管路(1 路 DIW，1 路負(fù)膠清洗液、1 路氮?dú)?，柱狀噴嘴，直徑4mm(內(nèi)徑)，流量可調(diào)(調(diào)整液體壓力)，無(wú)氮?dú)饧訅?供液方式：負(fù)膠清洗液 18L 壓 力罐，帶液位檢測(cè);壓力罐放置液柜內(nèi);其他為廠務(wù)直供

　　背洗裝置(可選)： 勻膠模塊和顯定影模塊均可選配，帶有流量計(jì)以及液位檢測(cè)裝置

　　真空托盤(pán)材質(zhì)： 聚四氟乙烯

　　真空托盤(pán)規(guī)格： 根據(jù)客戶需求定制

　　定中裝置： 配備定中裝置，自動(dòng)定中

　　控制系統(tǒng)： 專用操作軟件，終生免費(fèi)升級(jí)