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產(chǎn)品特點(diǎn)
PLC 控制操作簡單,單按鈕控制
帶紅光指示功能
壓力大小可調(diào)
手動放片,取片
專用裂片橡膠墊
技術(shù)參數(shù)
裂片機(jī)控制:采用 PLC 控制
傳動方式:采用步進(jìn)電機(jī)
Y 方向運(yùn)動:由導(dǎo)軌定位、同步帶傳動
Z 方向運(yùn)動:高度定位由絲桿模組傳動,下壓力由 Z 向
下壓距離控制,并由彈簧傳導(dǎo)
定位方式:設(shè)置有紅光指示硅片溝槽放置方向
加工方式:機(jī)器取代人工使用滾輪裂片動作
應(yīng)用范圍
適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的 GPP 晶圓裂片
產(chǎn)品特點(diǎn)
PLC 控制操作簡單,單按鈕控制
帶紅光指示功能
壓力大小可調(diào)
手動放片,取片
專用裂片橡膠墊
技術(shù)參數(shù)
裂片機(jī)控制:采用 PLC 控制
傳動方式:采用步進(jìn)電機(jī)
Y 方向運(yùn)動:由導(dǎo)軌定位、同步帶傳動
Z 方向運(yùn)動:高度定位由絲桿模組傳動,下壓力由 Z 向
下壓距離控制,并由彈簧傳導(dǎo)
定位方式:設(shè)置有紅光指示硅片溝槽放置方向
加工方式:機(jī)器取代人工使用滾輪裂片動作
應(yīng)用范圍
適用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的 GPP 晶圓裂片