先進(jìn)的薄膜厚度測(cè)量系統(tǒng)

　　使用 F20 高級(jí)頻譜反射測(cè)量系統(tǒng)，我們能輕松的實(shí)現(xiàn)對(duì)膜層厚度和光學(xué)常數(shù)( n 和 k 值)的測(cè)量。通過(guò)對(duì)膜層頂部、底部反射光譜進(jìn)行分析，數(shù)秒內(nèi)我們即可得到膜層的厚度、折射率和消光系數(shù)。

　　通過(guò)內(nèi)置的獨(dú)立軟件和 USB 接口，能夠很容易的把 F20 安裝在任何的 Windows 電腦平臺(tái)上。健全的軟件材料庫(kù)( 100 多種材料)，極大的滿足了對(duì)各種不同膜層結(jié)構(gòu)測(cè)量的需要，包括對(duì)單層、多層或獨(dú)立膜層的測(cè)量。透過(guò)測(cè)量樣品的光學(xué)常數(shù)或?qū)胍汛嬖诘淖稍?，能夠在材料?kù)內(nèi)快速的增加新材料。

　　可測(cè)樣品膜層

　　基本上所有光滑的、半透明的或低吸收系數(shù)的薄膜都可以測(cè)量。這包括幾乎所有的電介質(zhì)與半導(dǎo)體材料，例如：

　　氧化硅、光刻膠、多晶硅、

　　氮化硅、聚合物、非晶硅、

　　類金剛石 DLC、聚酰亞胺、硅

　　附加特性

　　? 嵌入式在線診斷方式

　　? 免費(fèi)離線分析軟件

　　? 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能，幫助用戶有效的存儲(chǔ)，重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果