依靠F50先進(jìn)的光譜測(cè)量系統(tǒng)，可以很簡(jiǎn)單快速地獲得最大直徑450毫米的樣品薄膜的厚度分布圖。采用r-θ極坐標(biāo)移動(dòng)平臺(tái)，可以非?？焖俚亩ㄎ凰铚y(cè)試的點(diǎn)并測(cè)試厚度，測(cè)試非常快速，大約每秒能測(cè)試兩點(diǎn)。用戶(hù)可以自己繪制需要的點(diǎn)位地圖。F50系統(tǒng)配置高精度使用壽命長(zhǎng)的移動(dòng)平臺(tái)，確保能夠做成千上萬(wàn)次測(cè)量。

　　系統(tǒng)中預(yù)設(shè)了許多極坐標(biāo)形、方形和線(xiàn)性的圖形模式，也可以編輯自己需要的測(cè)試點(diǎn)。只需掌握基本電腦技術(shù)便可在幾分鐘內(nèi)建立自己需要的圖形模式。