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產(chǎn)線級F型涂膠顯影機(jī)-TDF1200/800

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·高產(chǎn)能機(jī)型、最高配置8spin、標(biāo)準(zhǔn)配置3Cot&5Dev
·適用于規(guī)模量產(chǎn)，可以與光刻機(jī)inline
·晶圓加工規(guī)格8英寸或12英寸產(chǎn)品
·匹配多種光刻工藝KrF、i-line
·設(shè)備包括EFEM、Cot&Dev、Oven、Interface
產(chǎn)品詳情

　　產(chǎn)品特色

　　·高產(chǎn)能機(jī)型、最高配置8spin、標(biāo)準(zhǔn)配置3Cot&5Dev

　　·適用于規(guī)模量產(chǎn)，可以與光刻機(jī)inline

　　·晶圓加工規(guī)格8英寸或12英寸產(chǎn)品

　　·匹配多種光刻工藝KrF、i-line

　　·設(shè)備包括EFEM、Cot&Dev、Oven、Interface

　　·模塊化、靈活配置

　　·模塊化的單元便于維護(hù)(快修&快換)

　　·圖形化的人機(jī)交互界面

　　·高產(chǎn)能300-320WPH，8英寸標(biāo)準(zhǔn)涂膠工藝

產(chǎn)線級F型涂膠顯影機(jī)-TDF1200/800
產(chǎn)線級F型涂膠顯影機(jī)-TDF1200/800

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·高產(chǎn)能機(jī)型、最高配置8spin、標(biāo)準(zhǔn)配置3Cot&5Dev
·適用于規(guī)模量產(chǎn)，可以與光刻機(jī)inline
·晶圓加工規(guī)格8英寸或12英寸產(chǎn)品
·匹配多種光刻工藝KrF、i-line
·設(shè)備包括EFEM、Cot&Dev、Oven、Interface
159-9536-5210
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　　·高產(chǎn)能機(jī)型、最高配置8spin、標(biāo)準(zhǔn)配置3Cot&5Dev

　　·適用于規(guī)模量產(chǎn)，可以與光刻機(jī)inline

　　·晶圓加工規(guī)格8英寸或12英寸產(chǎn)品

　　·匹配多種光刻工藝KrF、i-line

　　·設(shè)備包括EFEM、Cot&Dev、Oven、Interface

　　·模塊化、靈活配置

　　·模塊化的單元便于維護(hù)(快修&快換)

　　·圖形化的人機(jī)交互界面

　　·高產(chǎn)能300-320WPH，8英寸標(biāo)準(zhǔn)涂膠工藝

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