PvS-LT5低溫氛圍旋涂儀，是我司繼加熱旋涂，光譜旋涂，卡槽真空雙路旋涂后，為鈣鈦礦科研定制化開發(fā)的一款新型儀器。本機(jī)契合了科研人員在低溫下進(jìn)行鈣鈦礦層旋涂，通過改變材料溫度優(yōu)化現(xiàn)有工藝的需求。在儀器開發(fā)試驗(yàn)的對(duì)比案例中，本旋涂儀制備的鈣鈦礦薄膜相較傳統(tǒng)設(shè)備制備的在結(jié)構(gòu)和形貌表征上都有明顯變化。

　　PvS-LT5在設(shè)計(jì)上兼顧了氣氛、溶液、基底片材的低溫要求，通過各種腔體設(shè)置保證薄膜制備過程中溶液溫度的穩(wěn)定性和一致性。本機(jī)低溫可調(diào)可控，顯示精度優(yōu)于0.1℃;同時(shí)配備了不銹鋼金屬內(nèi)襯，方便清理的前提下兼顧了導(dǎo)熱效率。

　　產(chǎn)品特點(diǎn)

　　3寸工業(yè)全彩觸屏人機(jī)界面與高精度無刷電機(jī)

　　PP內(nèi)腔，耐腐蝕透明蓋

　　真空吸附壓力保護(hù)

　　可處理基片范圍：小于10mm碎片至3寸圓形底物

　　可選配升級(jí)自動(dòng)滴膠裝置

　　技術(shù)參數(shù)

　　轉(zhuǎn)速范圍 100-12000rpm

　　轉(zhuǎn)速分辨率 1rpm

　　加速度可調(diào)范圍100-30000rpm/s

　　最大單步時(shí)長 3000s

　　時(shí)間分辨率 1s

　　配方功能 最大100組配方存貯

　　單步和多步旋涂功能 多步支持10步程序

　　標(biāo)配兩種真空載物盤(支持定制) 10mm、20mm

　　溫度范圍 室溫至-5℃

　　溫度分辨率 1℃

　　磁力攪拌 標(biāo)配低溫磁力攪拌，速度可調(diào)

　　設(shè)備總重量 機(jī)器11千克+電源3千克

　　旋涂電源輸入 寬電壓輸入220-240VAC

　　制冷電源 寬電壓輸入220-240VAC 350W

　　旋涂外形尺寸 210mm(W)*270mm(D)*270mm(H)

　　制冷電源尺寸 180mm(W)*300mm(D)*160mm(H)

　　氣泵參數(shù) 220VAC/負(fù)壓范圍0~-80kPa

　　氣泵尺寸 270mm(L)*110mm(W)*155mm(H)