紫外臭氧清洗機(jī)是不需要任何溶劑的干式清洗技術(shù)，對(duì)清洗表面沒有損傷。提供一種簡(jiǎn)單，經(jīng)濟(jì)，快速獲得超潔凈的表面，去除大多數(shù)無機(jī)基材(比如石英，硅片，金，鎳，鋁，砷化鎵，氧化鋁等)上的有機(jī)污染物。特別是當(dāng)基材和薄膜蒸鍍需要很好的粘接時(shí)，紫外清洗非常理想。獲得超潔凈的表面，只需要在傳統(tǒng)清洗后，再用紫外臭氧清洗過程幾分鐘就可以啦?？捎糜谌コ?、硅片、金、鎳、鋁、砷化鎵、氧化鋁等大多數(shù)無機(jī)基材上的有機(jī)污染物，提供了一種精密的清洗方式，也是表面改性的一種非常重要的技術(shù)。

　　在柔性電子中，屬于材料處理的一環(huán)，能無損傷式清洗各類基底上的有機(jī)污染物，提升表面性能，使基底在樣品制備過程中，能有更好的性能，如更好的線寬、線距等。

　　性能參數(shù)

　　型號(hào)： UVOC250

　　波長(zhǎng)： 185nm 和 254nm

　　電源： AC 220V

　　燈管： 一體式柵格型低壓汞蒸汽排放燈

　　照射強(qiáng)度： 70uW/cm2 (平臺(tái)位于較高處)

　　燈管壽命： 約 8000 小時(shí)

　　有效清洗面積： 254*254mm(10 英寸)

　　機(jī)身材質(zhì)： 304 不銹鋼

　　清洗時(shí)間控制器： 0-99.99 小時(shí)或分鐘或秒

　　安全防護(hù)功能： 當(dāng)蓋門打開時(shí)，燈管自動(dòng)熄滅

　　照射高度： 距燈管 20mm—100mm 照射高度可調(diào)

　　燈管預(yù)熱： 燈管自預(yù)熱

　　排風(fēng)功能： 自帶臭氧排風(fēng)系統(tǒng)，可調(diào)節(jié)風(fēng)速